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SEMIスタンダード S2/S8
SEMI Standardとは


1978年にはじめて発売されたSEMIスタンダードは「半導体製造装置」の設計に際しての安全ガイドラインとして、数度の改定を加えながら現在に至ります(現在の最新版は2000年度版)。
SEMIスタンダードの対応範囲は、材料、ハードウエア・ソフトウエア、設備、ガス、プロセスケミカル、環境 健康&安全 (EHS)等、多岐にわたり、主にそれぞれの「仕様、ガイド、試験方法、用語、実施方法」を記載しています。
その中で現在、半導体製造装置を出荷する際に求められる一般的なガイドラインが下記のS2とS8です。
SEMI S2
SEMI S2には、半導体製造に使用される装置に対する作業環境、衛生及び安全について最低限考慮し、行わなければならない項目が述べられており、その要求事項は、化学、放射、電気、物理、機械、環境、火災、地震、排気、人間工学、さらに、品質、文書、マニュアルなどに及んでいます。
SEMI S8
SEMI S8は、SEMI S2の14項の人間工学に関する要求に加え、さらに詳しい人間工学に関する指針を示しています。
また、上記S2・S8の他に警告ラベルおよびマニュアルの安全ガイドラインとして下記のS1とS13があります。
S1 :視覚警報標識に関する安全ガイドライン
S13:半導体製造装置の操作及び保守マニュアルの安全ガイドライン